テクニカルデーター
製品名
化学構造式
吸収波長
特性
用途
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TR-B601
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分子量の平均: 8000 ~ 15000
分子量の分布: < 1.8
水分: 0.5%
残留モノマー: < 1.0%
単一の金属イオン: < 50 ppb
Hs = 60 ~ 70% 、 st = 10 ~ 25%
TBA=5-20%
Krf フォトレジストポリマー phs 樹脂
